6.1 一般规定

6.1.1 洁净厂房内各洁净室的空气洁净度等级应满足生产工艺对生产环境的洁净 要求。

6.1.2 应根据空气洁净度等级的不同要求，需用不同的气流流型。

6.1.3 下列情况之一者，其净化空调系统宜分开设置：

1 运行班次或使用时间不同。

2 生产工艺中某工序散发的物资或气体对其他工序的产品质量有影响。

3 对温、湿度控制要求差别大。

4 净化空调系统与一般空调系统。

6.1.4 洁净室的温、湿度范围应符合表6.1.4 的规定。

表6.1.4 洁净室的温、湿度范围

6.1.5 洁净室内的新鲜空气量应取下列两项中的最大值：

1 补偿室内排风量和保持室内正压值所需新鲜空气量之和。

2 保证供给洁净室内每人每小时的新鲜空气量不小于40m³。

6.1.6 洁净区的清扫宜采用移动式高效真空吸尘器，但空气洁净度等级为1级～5级的单向流洁净室宜设置集中式真空吸尘系统。洁净室内的吸尘系统管道应暗敷，吸尘口应加盖封堵。

6.1.7 净化空调系统设计对维护管理的要求应符合本规范附录C的规定。

6.2 洁净室压差控制

6.2.1 洁净室（区）与周围的空间必须维持一定的压差，并应按工艺要求决定维持正压差或负压差。

6.2.2 不同等级的洁净室之间的压差不宜小于5PA，洁净区与非洁净区之间的压差不应小于5PA，洁净区与室外的压差不应小于10PA。

6.2.3 洁净室维持不同的压差值所需的压差风量，根据洁净室特点，宜采用缝隙法或换气次数法来确定。

6.2.4 送风、回风、排风系统的启闭宜连锁。正压洁净室连锁程序应先启动送风机，再启动回风机和排风机；关闭时连锁程序应相反。

   负压洁净室连锁程序应上述正压洁净室相反。

6.2.5 非连续运行的洁净室，可根据生产工艺要求设置值班送风，并应进行净化空调处理。

6.3 气流流型和送风量

6.3.1 气流流型的设计应符合下列规定：

1 洁净室（区）的气流流型和送风量应符合表6.3.3 的要求。空气洁净度等级要求严于4级时，应采用单向流；空气洁净度等级为4级-5级时，应采用单向流；空气洁净度等级为6级-9级时，应采用非单向流。

2 洁净室工作区的气流分部均匀。

3 洁净室工作区的气流流速应符合生产工艺。

6.3.2  洁净室的送风量应取下列三项中的最大值：

1 满足空气洁净度等级要求的送风量。

2 根据热、湿负荷计算确定的送风量。

3 按本规范第6.1.5条的要求向洁净室内供给的新鲜空气量。

6.3.3 为保证空气洁净度等级的送风量，应按表6.3.3中有关数据进行计算或按室内发生尘量进行计算。

表 6.3.3 气流流型和送风量

注：1 换气次数适用于层高小于4.0m的洁净室；

2 应根据室内人员、工艺设备的布置以及物料传输等情况采用上、下限制。

6.3.4 洁净室内各种设施的布置应考虑对气流流型和空气洁净室度的影响，并应符合下列规定：

1 单向流洁净室内不宜布置洁净工作台，非单向流洁净室的回风口宜远离洁净工作台。

2 需排风的工艺设备宜布置在洁净室下风侧。

3 有发热设备时，应采取措施减少热气流对气流分布的影响。

4 余压阀宜布置在洁净气流的下风侧。

6.4 空气净化处理

6.4.1 空气过滤器的选用、布置和安装方式应符合下列规定：

1 空气净化处理应根据空气洁净度等级合理选用空气过滤器。

2 空气过滤器的处理风量应小于或等于额定风量。

3 中效或高中效空气过滤器宜集中设置在空调箱的正压段。

4 亚高效过滤器和高效过滤器作为末端过滤器时宜设置在净化空调系统的末端，超高效过滤器应设置在净化空调系统的末端。

5 设置在同一洁净室内的高效（亚高效、超高效）空气过滤器的阻力、效率应相近。

6 高效（亚高效、超高效）空气过滤器安装方式应严密、简便、可靠、易于检漏和更换。

6.4.2 对较大型的洁净厂房的净化空调系统的新风宜集中进行空气净化处理。

6.4.3 净化空调系统设计应合理利用回风。

6.4.4 净化空调系统的风机宜采取变频措施。

6.4.5 严寒及寒冷地区的新风系统应设置防冻保护措施。

6.5 采暖通风、防排烟

6.5.1 空气洁净度等级严于8级的洁净室不得采用散热器采暖。

6.5.2 洁净室内产生粉尘和有害气体的工艺设备，应设局部排风装置。

6.5.3 在下列情况下，局部排风系统应单独设置：

1 排风介质混合后产生或加剧腐蚀性、毒性、燃烧爆炸危险性和发生交叉污染。

2 排风介质中含有毒性的气体。

3 排风介质中含有易燃、易爆气体。

6.5.4 洁净室的排风系统设计应符合下列规定；

1 应防止室外气流倒灌。

2 含有易燃、易爆物质的局部排风系统应按物理化学性质采取相应的防火防爆措施。

3 排风介质中有害物浓度及排放速率超过国家或地区有害物排放浓度及排放速率规定时，应进行无害化处理。

4 对含有水蒸气和凝结性物质的排风系统，应按坡度及排放口。

6.5.5 换鞋、存外衣=盥洗、厕所和淋浴等生产辅助房间应采取通风措施，其室内的静压值应低于洁净区。

6.5.6 根据生产工艺要求应设置事故排风系统。事故排风系统应设自动和手动控制开关，手动控制开关应分别设在洁净室内、外便于操作处。

6.5.7 洁净厂房排烟设施的设置应符合下列规定：

1 洁净厂房中的疏散走廊应设置机械排烟设施。

2 洁净厂房设置的排烟设施应符合现行国家标准《建筑设计防火规范》GB50016的有关规定。

6.6 风管和附件

6.6.1 净化空调系统的新风管段应设置电动密码闭阀、调节阀、送、回风管段应设置调节阀，洁净室内的排风系统应设置调节阀、止回阀或电动密闭阀。

6.6.2 下列情况之一的通风、净化空调系统的风管应设防火阀：

1 风管穿越防火分区的隔墙处，穿越变形缝的防火隔墙的两侧。

2 风管穿越通风、空气调节机房的隔墙和楼板处。

3 垂直风管与每层水平风管交接的水平管段上。

6.6.3 净化空调系统的风管和调节风阀、高效过滤器的保护网、孔板、扩散孔板等附件的制作材料和涂料，应符合输送空气的洁净度要求极其所处的空气环境条件的要求。

洁净室排风系统的风管和调节阀、止回阀、电动密闭阀等附件的制作材料和涂料，应符合排除气体的性质极其所处的空气环境条件的要求。

6.6.4 净化空调系统的送、回风总管及排风系统的吸风总管段上宜采取消声措施，满足洁净室内噪声要求。

   净化空调系统的排风管或局部排风系统的排风管段上，宜采取消声措施，满足室外环境区域噪声标准的要求。

6.6.5 在空气过滤器的前、后应设置测压孔或压差计。在新风管、送风、回风总管段上，宜设置风量测定孔。

6.6.6 风管、附件及辅助材料的耐火性能应符合下列规定：

1 净化空调系统、排风系统的风管应采用不然材料。

2 排除有腐蚀性气体的风管应采用耐腐蚀的难燃材料。

3 排烟系统的风管应采用不燃材料，其耐火极限应大于0.5h。

5 附件、保温材料、消声材料和黏结剂等均采用不燃材料或难燃材料。