4.1 洁净厂房位置选择和总平面布置

4.1.1 洁净厂房位置选择应符合下列规定，并经技术经济方案比较后确定：

1 应在大气含尘和有害气体浓度较低、自然环境较好的区域。

2 应远离铁路、码头、飞机场、交通要道以及散发大量粉尘和有害气体的工厂、贮仓、堆场等有严重空气污染、振动或噪声干扰的区域。当不能远离严重空气污染时，应位于最大频率风向上风侧，或全年最小频率风向下风侧。

3 应布置在厂区内环境清洁，人流、物流不穿越或少穿越的地段。

4.1.2 对于兼有威振控制要求的洁净厂房的位置选择，应实际测定周围现有振源的振动影响，并应与精密设备、精密仪器仪表容许振动值分析比较后确定。

4.1.3 洁净厂房新风口与交通干道边沿的最近距离宜大于50m.

4.1.4 洁净厂房周围宜设置环形消防车道，也可沿厂房的两个长边设置消防车道。

4.1.5 洁净厂房周围的道路面层应选用整体性能好、发尘少的材料。

4.1.6 洁净厂房周围应进行绿化。可铺直草坪，不应种植对生产有害的植物，并不得妨碍消防作业。

4.2 工艺平面布置和设计综合协调

4.2.1 工艺平面布置应符合下列规定：

1 工艺平面布置应合理、紧凑。洁净室或洁净区内应只布置必要的工艺设备，以及有空气洁净度等级要求的工序和工作室。

2 在满足生产工艺和噪音要求的前提下，对空气洁净度要求严格的洁净室或洁净区宜靠近空气调节机房，空气洁净度等级相同的工序和工作室宜集中布置。

3 洁净室内对空气洁净度要求严格的工序应布置在上风侧，易产生污染的工艺设备应布置在靠近回风口位置。

4 应考虑大型设备安装和维修的运输路线，并预留设备安装口和检修口。

5 不同空气洁净度等级房间之间联系频繁时，宜设有防止污染的措施，如气闸室、传递窗等。

6 应设置单独的物料入口，物料传递路线应最短，物料进入洁净室（区）之前应进行清洁处理。

4.2.2 洁净厂房的平面的空间设计应满足生产工艺和空气洁净度等级要求。洁净区、人员净化、物料净化和其他辅助用房应分区布置，并应与生产操作、工艺设备安装和维修、管线布置、气流流型以及净化空调系统等各种技术设施进行综合协调。

4.2.3 洁净厂房内应少设隔间，但在下列情况下应进行分隔：

1 按生产的火灾危险性分类，甲、乙类与非甲、乙类相邻的生产区段之间，或有防火分隔要求者。

2 按产品生产工艺需要有分隔要求时。

3 生产联系少，并经常不同时使用的两个生产区段时间。

4.2.4 在满足生产工艺和空气洁净度等级要求的条件下，洁净厂房内各种固定技术设施的布置，应优先考虑净化空调系统的要求。固定技术设施包括送风口、照明器、回风口、各种管线等。

4.3 人员净化和物料净化

4.3.1 洁净厂房内应设置人员净化、物料净化用室和设施，并应根据需要设置生活用室和其他用室。

4.3.2 人员净化用室和生活用室的设置应符合下列规定：

1 应在设置存放雨具、换鞋、村外衣、更换洁净工作服等人员净化用室。

2 厕所、盥洗室、淋浴室、休息室等生活用室以及空气吹淋室、气闸室、工作服洗涤间的干燥间等可根据需要设置。

4.3.3 人员净化用室和生活用室的设计应符合下列规定：

1 人员净化用室的入口应设净鞋措施。

2 存外衣、更换洁净工作服的房间应分别设置。

3 外衣存衣柜应按设计人数每人设一柜，洁净工作服宜集中挂入带有空气吹淋的洁净柜内。

4 盥洗室应设洗手和烘干设施。

5 空气吹淋室应设在洁净区人员入口处，并与洁净工作服更衣室相邻。单人空气吹淋室按最大班人数每30人设一台。洁净区工作人员超过5人时，空气吹淋室一侧应设旁通门。

6 严于5级的垂直单向流洁净室宜设气闸室。

7 洁净区内不得设厕所。人员净化用室内的厕所应设前室。

4.3.4 人流路线应符合下列规定：

1 人流路线应避免往复交叉。

2 人员净化用室和生活用室的布置应按人员净化程序（图4.3.4）进行布置。

图4.3.4 人员净化程序

4.3.5 根据不同的空气洁净度等级和工作人员数量，洁净厂房内人员净化用室和生活用室的建筑面积应合理确定，并宜按洁净区设计人数平均每人2㎡-4㎡计算。

4.3.6 洁净工作服更衣室、洗涤室的空气净化要求宜根据产品工艺要求和相邻洁净室（区）的空气洁净度等级确定。

4.3.7 洁净室设备和物料出入口应根据设备和物料的性质、形状等特征设置物料净化用室及其设施。物料净化用室的布置应防止净化后物料在传递过程中被污染。

4.4  噪声控制

4.4.1 洁净室内的空态噪声级，非单向流洁净室不应大于60dB(A),单项流、混合流洁净室不应大于65dB(A).

4.4.2 洁净室的噪声频谱限制应采用倍频程声压级，空态噪声频谱的限制值不宜大于表4.4.2中的规定。

表4.4.2 空态噪声频谱的限制值

4.4.3 洁净厂房的平面和空间设计应考虑噪声控制要求。洁净室的维护结构应良好的隔声性能，并宜使其各部分隔声量相接近。

4.4.4 洁净室内的各种设备均应选用低噪声产品。对于辐射噪声值超过洁净室允许值的设备，宜设置专用噪声或消声设施。

4.4.5 净化空调系统噪声超过允许值时，应采取隔声、消声、隔振等控制措施。除事故排风外，洁净室内的排风系统应进行减噪设计。

4.4.6 根据室内容许噪声级要求，净化空调系统风管内风速宜符合下列规定：

1 总风管风速宜为6m/s-10m/s。

2 无送、回风口的支风管风速宜为4m/s-6m/s。

3 有送、回风口的支风管风速宜为2m/s-5m/s。

4.5 威振控制

4.5.1 有威振控制要求的洁净厂房设计应符合下了规定：

1 在结构选型、隔振缝设置、壁板与地面、壁板与顶棚连接处，应按威振控制要求设计。

2 洁净室与周围辅助性站房内有强烈振动的设备及连接管道应采取主动隔振措施。

3 应测定洁净厂房内、外各类振源对洁净厂房精密设备、精密 仪器仪表位置处的综合振动影响，以决定是否采取被动隔振措施。

4.5.2 精密设备、精密仪器仪表的容许振动值应 由生产工艺和设备制造部门提供。当生产工艺和设备制造部门难以提供容许振动值时，可现行国家标准《隔振设计规范》GB50463的有关规定执行。

4.5.3 精密设备、精密仪器仪表的被动隔振设计应具备下列条件：

1 周围振源对其综合影响的振动数据。

2 设备、仪器仪表的型号、规格及轮廓尺寸图。

3 设备、仪器仪表的质量、质心位置及质量惯性距。

4 设备、仪器仪表的底座外轮廓图，附属装置，管道位置及坑、沟、孔洞尺寸，地脚螺栓及预埋件位置等。

5 设备、仪器仪表的调平要求。

6 设备、仪器仪表的容许振动值。

7 所选用或设计的隔振器或隔振装置的技术参数、外形尺寸及安装条件。

4.5.4 精密设备、精密仪器仪表的被动隔振设计应符合下列规定：

1 隔振台座应具有足够的刚度。

2 隔振台座应采取倾斜校正措施。

3 隔振系统各向阻尼比不应小于0.15.

4 隔振措施不应影响洁净室内的气流流型。

4.5.5 精密设备、精密仪器仪表的被动隔振措施宜采用能自动校正倾斜的空气弹簧隔振装置。对供应空气弹簧用的气源应进行净化处理。